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高光譜成像進(jìn)行薄膜厚度檢查

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通過高光譜成像進(jìn)行薄膜厚度檢查

2023-09-22

厚度是薄膜和涂層的關(guān)鍵質(zhì)量參數(shù)。厚度和均勻性強(qiáng)烈影響薄膜的功能，需要精確監(jiān)控。為此，X 射線技術(shù)和光譜學(xué)在桌面和在線檢測系統(tǒng)中得到廣泛應(yīng)用。..

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